证券之星音讯，依据企查查多个方面数据显现华海清科（688120）新取得一项实用新型专利授权，专利名为“一种用于CMP的光学丈量设备和化学机械抛光设备”，专利申请号为CN0.6，授权日为2024年1月26日。

  专利摘要：本实用新型揭露了一种用于CMP的光学丈量设备和化学机械抛光设备，所述光学丈量设备包含：在线光学丈量组件和参阅光学丈量组件，所述在线光学丈量组件包含用于丈量晶圆的非金属膜厚的榜首光学传感器和榜首窗口，所述参阅光学丈量组件包含用于取得校准光强的第二光学传感器、第二窗口、校准片和遮挡组件。

  今年以来华海清科新取得专利授权4个，较去年同期减少了55.56%。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研制方面投入了1.39亿元，同比增63.98%。

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  证券之星估值剖析提示华海清科盈余才能杰出，未来营收成长性优异。归纳基本面各维度看，股价偏高。更多

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