离子辅佐镀膜的机理 离子辅佐镀膜影响膜层质量的参数 薄膜性质与大块资料挨近，进步膜层光学 特性（吸收、散射） 进步介质膜膜层的细密性，耐热性，硬 度，附着性，反抗腐蚀才能，可重复性 常温镀膜

  正交表是正交试验的一个重要东西，表1是组织四个 要素（A、B、C、D）和三个（1、2、3）表明要素 的水平，使用这张表可以直接进行4要素3水平试验，试 验次数为9次。

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  由极差可知，四个要素对折射率的影响按资料配比D，基板 温度A，真空度B和淀积速率C的次第递减。类似地，对吸收 和散射别离依次第C-D-A-B和D-B-C-A递减。

  A、定目标，挑要素，选水平 B、选用正交表，排表 C、组织试验计划，试验 D、剖析试验数据，选取较优条件。

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  表中○表明或许有联系，●表明有联系，●●表明或许很有 联系，x表明本来没联系，而选用新的蒸镀办法后会有联系

  正交试验是研讨和处理多要素试验的一种科学办法， 它在理论知道和实践经历的基础上，使用一种现成的 规格化表格－正交表来组织试验。这种办法的长处是 能在许多试验条件中找出代表性强的少量条件，经过 很少几回试验，找出较优的工艺要素。